Муфти Oldham у напівпровідниковому обладнанні: системи обробки пластин та руху в чистих приміщеннях

Виробництво напівпровідників, мабуть, є найвимогливішим середовищем, в якому може працювати будь-який механічний компонент. Необхідні допуски позиціонування вимірюються в нанометрах. Стандарти чистоти — зазвичай від класу ISO 1 до класу ISO 4...