ข้อต่อแบบ Oldham ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์: ระบบการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์และระบบการเคลื่อนที่ในห้องปลอดเชื้อ

การผลิตเซมิคอนดักเตอร์อาจกล่าวได้ว่าเป็นสภาพแวดล้อมที่ต้องการความแม่นยำสูงที่สุดสำหรับชิ้นส่วนเชิงกลใดๆ ค่าความคลาดเคลื่อนในการกำหนดตำแหน่งนั้นวัดเป็นนาโนเมตร มาตรฐานความสะอาดโดยทั่วไปคือ ISO Class 1 ถึง ISO Class 4...