半導体製造装置におけるオールドハムカップリング：ウェハハンドリングおよびクリーンルームモーションシステム 執筆者 ep | 2026 年 6 月 25 日 | ブログ半導体製造は、機械部品が動作を求められる環境の中でも、おそらく最も厳しい環境と言えるでしょう。必要な位置決め精度はナノメートル単位で測定されます。清浄度基準は、通常ISOクラス1からISOクラス4までです。
