Соединения Олдхэма в полупроводниковом оборудовании: системы перемещения пластин и оборудования для чистых помещений.

Производство полупроводников, пожалуй, является наиболее требовательной средой, в которой может работать любой механический компонент. Необходимые допуски на позиционирование измеряются в нанометрах. Стандарты чистоты — как правило, от ISO Class 1 до ISO Class 4...