반도체 장비의 올드햄 커플링: 웨이퍼 핸들링 및 클린룸 모션 시스템 에 의해서 에피소드 | 2026년 6월 25일 | 블로그반도체 제조는 기계 부품이 작동해야 하는 환경 중 가장 까다로운 환경이라고 할 수 있습니다. 요구되는 위치 정밀도는 나노미터 단위이며, 청결도 기준은 일반적으로 ISO 1등급에서 4등급까지입니다.
