wafer handling coupling

ข้อต่อแบบ Oldham ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์: ระบบการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์และระบบการเคลื่อนที่ในห้องปลอดเชื้อ

การผลิตเซมิคอนดักเตอร์นั้นอาจกล่าวได้ว่าเป็นสภาพแวดล้อมที่ท้าทายที่สุดเท่าที่ชิ้นส่วนเชิงกลใดๆ จะต้องเผชิญ ตำแหน่งที่ตั้ง…

3 เดือนที่แล้ว