ข้อต่อแบบ Oldham ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์: ระบบการเคลื่อนย้ายเวเฟอร์และระบบการเคลื่อนที่ในห้องปลอดเชื้อ

โดย | 25 มิ.ย. 2026 | บล็อก

Semiconductor manufacturing is arguably the most demanding environment in which any mechanical component can be asked to operate. The positioning tolerances required are measured in nanometres. The cleanliness standards — typically ISO Class 1 to ISO Class 4...