کوپلینگ‌های اولدهام در تجهیزات نیمه‌هادی: سیستم‌های جابجایی ویفر و حرکت در اتاق تمیز

تولید نیمه‌هادی مسلماً سخت‌ترین محیطی است که می‌توان از هر قطعه مکانیکی خواست در آن کار کند. تلرانس‌های موقعیت‌یابی مورد نیاز بر حسب نانومتر اندازه‌گیری می‌شوند. استانداردهای پاکیزگی - معمولاً کلاس ISO 1 تا کلاس ISO 4 ...