{"id":877,"date":"2026-06-25T01:55:35","date_gmt":"2026-06-25T01:55:35","guid":{"rendered":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/oldham-couplings-in-semiconductor-equipment-wafer-handling-and-cleanroom-motion-systems\/"},"modified":"2026-06-25T01:55:35","modified_gmt":"2026-06-25T01:55:35","slug":"oldham-couplings-in-semiconductor-equipment-wafer-handling-and-cleanroom-motion-systems","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/th\/oldham-couplings-in-semiconductor-equipment-wafer-handling-and-cleanroom-motion-systems\/","title":{"rendered":"\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e41\u0e1a\u0e1a Oldham \u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c: \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e22\u0e49\u0e32\u0e22\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e2d"},"content":{"rendered":"

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\n \"Oldham
\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e25\u0e35\u0e19\u0e23\u0e39\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04 \u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b \u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e41\u0e25\u0e30\u0e19\u0e49\u0e33\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19\u0e44\u0e21\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e15\u0e2d\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e2d\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49<\/figcaption><\/figure>\n

\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e49\u0e32\u0e17\u0e32\u0e22\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e2d<\/h2>\n

\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 0.1 \u0e44\u0e21\u0e04\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e40\u0e1e\u0e35\u0e22\u0e07\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e40\u0e14\u0e35\u0e22\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e01\u0e25\u0e07\u0e1a\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e42\u0e1f\u0e42\u0e15\u0e25\u0e34\u0e42\u0e17\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35 \u0e2d\u0e32\u0e08\u0e01\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e49\u0e32\u0e22\u0e41\u0e23\u0e07\u0e43\u0e19\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e44\u0e14\u0e49 \u0e42\u0e21\u0e40\u0e25\u0e01\u0e38\u0e25\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e2d\u0e34\u0e19\u0e17\u0e23\u0e35\u0e22\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e22\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e21\u0e32\u0e08\u0e32\u0e01\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e40\u0e21\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2d\u0e32\u0e08\u0e15\u0e01\u0e15\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e1a\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e41\u0e1b\u0e25\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e43\u0e19\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e30\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e22\u0e36\u0e14\u0e40\u0e01\u0e32\u0e30\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e42\u0e1f\u0e42\u0e15\u0e40\u0e23\u0e0b\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e4c \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e01\u0e15\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e1a\u0e32\u0e07 \u0e19\u0e35\u0e48\u0e44\u0e21\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e48\u0e1b\u0e31\u0e0d\u0e2b\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e17\u0e24\u0e29\u0e0e\u0e35 \u0e41\u0e15\u0e48\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e49\u0e32\u0e17\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e43\u0e19\u0e0a\u0e35\u0e27\u0e34\u0e15\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e08\u0e33\u0e27\u0e31\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/p>\n

\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e01\u0e25\u0e17\u0e38\u0e01\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e40\u0e2a\u0e49\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e22\u0e49\u0e32\u0e22\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e44\u0e21\u0e48\u0e27\u0e48\u0e32\u0e08\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2b\u0e38\u0e48\u0e19\u0e22\u0e19\u0e15\u0e4c \u0e41\u0e17\u0e48\u0e19\u0e27\u0e32\u0e07\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e40\u0e2a\u0e49\u0e19 \u0e41\u0e17\u0e48\u0e19\u0e27\u0e32\u0e07\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2b\u0e21\u0e38\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e21\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e44\u0e14\u0e23\u0e1f\u0e4c\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e46 \u0e08\u0e30\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e21\u0e34\u0e19\u0e43\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e46 \u0e14\u0e31\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49:<\/p>\n

    \n
  • \u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04:<\/strong> \u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e1b\u0e01\u0e15\u0e34 \u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e14\u0e31\u0e07\u0e01\u0e25\u0e48\u0e32\u0e27\u0e1b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e44\u0e27\u0e49\u0e08\u0e33\u0e19\u0e27\u0e19\u0e40\u0e17\u0e48\u0e32\u0e43\u0e14\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2b\u0e19\u0e48\u0e27\u0e22\u0e40\u0e27\u0e25\u0e32? \u0e27\u0e31\u0e14\u0e44\u0e14\u0e49\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e14\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e08\u0e33\u0e19\u0e27\u0e19\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e32\u0e17\u0e35\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2b\u0e19\u0e48\u0e27\u0e22\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23<\/li>\n
  • \u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b:<\/strong> \u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e2d\u0e34\u0e19\u0e17\u0e23\u0e35\u0e22\u0e4c\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e22\u0e07\u0e48\u0e32\u0e22 (VOC) \u0e08\u0e32\u0e01\u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e27\u0e30\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e43\u0e01\u0e25\u0e49\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e17\u0e48\u0e32\u0e43\u0e14? \u0e1e\u0e32\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e19\u0e35\u0e49\u0e27\u0e31\u0e14\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19 Pa\u00b7m\u00b3\/s \u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2b\u0e19\u0e48\u0e27\u0e22\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e31\u0e27\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28<\/li>\n
  • \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35:<\/strong> \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e19\u0e35\u0e49\u0e17\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e43\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e43\u0e19\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e40\u0e27\u0e13\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e44\u0e21\u0e48 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e44\u0e2d\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e22\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e44\u0e2e\u0e42\u0e14\u0e23\u0e40\u0e08\u0e19\u0e1f\u0e25\u0e39\u0e2d\u0e2d\u0e44\u0e23\u0e14\u0e4c \u0e42\u0e2d\u0e42\u0e0b\u0e19 \u0e44\u0e2d\u0e42\u0e0b\u0e42\u0e1e\u0e23\u0e1e\u0e34\u0e25\u0e41\u0e2d\u0e25\u0e01\u0e2d\u0e2e\u0e2d\u0e25\u0e4c \u0e41\u0e2d\u0e21\u0e42\u0e21\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e21\u0e44\u0e2e\u0e14\u0e23\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c \u0e44\u0e2e\u0e42\u0e14\u0e23\u0e40\u0e08\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e37\u0e48\u0e19\u0e46 \u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23?<\/li>\n
  • \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19:<\/strong> \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e14\u0e31\u0e07\u0e01\u0e25\u0e48\u0e32\u0e27\u0e1b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14\u0e2d\u0e37\u0e48\u0e19 \u0e46 \u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e32\u0e08\u0e15\u0e01\u0e15\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e1a\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e41\u0e1b\u0e25\u0e07\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e44\u0e21\u0e48?<\/li>\n<\/ul>\n

    Why the Oldham Coupling’s Sliding Disc Is Both the Challenge and the Solution<\/h2>\n

    The centre disc’s sliding motion is the source of the Oldham coupling’s misalignment accommodation capability \u2014 but it is also a potential source of particle generation. Every sliding contact produces wear debris, and in a cleanroom environment those debris particles must be managed.<\/p>\n

    \u0e2b\u0e31\u0e27\u0e43\u0e08\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e17\u0e35\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38 \u0e2d\u0e30\u0e0b\u0e35\u0e17\u0e31\u0e25\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19\u0e08\u0e30\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e17\u0e35\u0e48\u0e27\u0e31\u0e14\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e2d\u0e21\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e44\u0e14\u0e49\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21 \u0e41\u0e15\u0e48\u0e21\u0e35\u0e08\u0e33\u0e19\u0e27\u0e19\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e40\u0e01\u0e34\u0e19\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e2d ISO Class 3 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19 PEEK \u0e41\u0e25\u0e30\u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07 PEEK \u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e15\u0e34\u0e21\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22 PTFE \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e2a\u0e49\u0e19\u0e43\u0e22\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e1a\u0e2d\u0e19 \u0e08\u0e30\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e08\u0e33\u0e19\u0e27\u0e19\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e35\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e27\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e40\u0e14\u0e35\u0e22\u0e27\u0e01\u0e31\u0e19 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e15\u0e32\u0e21\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e33\u0e41\u0e19\u0e01\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e2d<\/p>\n

    \u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e07\u0e32\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14 \u2014 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21 ISO Class 1 \u0e16\u0e36\u0e07 2 \u2014 \u0e08\u0e30\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e43\u0e0a\u0e49 PEEK \u0e40\u0e01\u0e23\u0e14\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07 (\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e13\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30\u0e15\u0e48\u0e33 \u0e44\u0e21\u0e48\u0e21\u0e35\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e15\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e15\u0e31\u0e27\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e21\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e32\u0e08\u0e1b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e21\u0e32) \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e27\u0e30\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e21\u0e35\u0e40\u0e2d\u0e01\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e22\u0e37\u0e19\u0e22\u0e31\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b\u0e41\u0e25\u0e30\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e43\u0e19\u0e41\u0e15\u0e48\u0e25\u0e30\u0e25\u0e47\u0e2d\u0e15 \u0e15\u0e49\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 PEEK \u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01 \u0e41\u0e15\u0e48\u0e0a\u0e38\u0e14\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e39\u0e25\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e32\u0e1e\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e21\u0e31\u0e15\u0e34\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e08\u0e32\u0e01\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e0a\u0e34\u0e1b<\/p>\n

    \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2b\u0e38\u0e48\u0e19\u0e22\u0e19\u0e15\u0e4c\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h2>\n

    \u0e2b\u0e38\u0e48\u0e19\u0e22\u0e19\u0e15\u0e4c\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e22\u0e49\u0e32\u0e22\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e43\u0e19\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e22\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e1b\u0e01\u0e15\u0e34\u2014\u0e2b\u0e38\u0e48\u0e19\u0e22\u0e19\u0e15\u0e4c SCARA \u0e41\u0e25\u0e30 Cartesian \u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e22\u0e49\u0e32\u0e22\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e15\u0e25\u0e31\u0e1a \u0e25\u0e47\u0e2d\u0e01\u0e42\u0e2b\u0e25\u0e14 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25\u2014\u0e21\u0e35\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2b\u0e21\u0e38\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e08\u0e38\u0e14 \u0e41\u0e15\u0e48\u0e25\u0e30\u0e08\u0e38\u0e14\u0e02\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e21\u0e2d\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e42\u0e27\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e0a\u0e38\u0e14\u0e02\u0e31\u0e1a\u0e2e\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e21\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e15\u0e31\u0e27\u0e25\u0e14\u0e40\u0e01\u0e35\u0e22\u0e23\u0e4c \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e21\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e40\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e2d\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e34\u0e19\u0e1e\u0e38\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0a\u0e38\u0e14\u0e02\u0e31\u0e1a\u0e2e\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e21\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e04\u0e37\u0e2d\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e41\u0e1a\u0e1a Oldham \u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2a\u0e21\u0e31\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48<\/p>\n

    The requirements here are exacting. The robot must position a 300 mm wafer to within \u00b10.1 mm at the process chamber entrance slot, repeated millions of times over the tool’s service life. Any coupling backlash at the joint produces an end-effector positioning error amplified by the robot’s kinematic chain. Zero backlash at every joint is a non-negotiable requirement.<\/p>\n

    The lateral offset tolerance of the Oldham coupling absorbs the small but unavoidable shaft misalignments between the motor and harmonic drive in the compact, stacked joint assembly \u2014 misalignments that cannot be corrected by shimming in the confined space of a robot joint housing. The alternative \u2014 a bellows coupling \u2014 would impose radial loads on the harmonic drive’s input bearing, reducing its service life in a component that is expensive and time-consuming to replace in a robot that may be installed in a process tool under a multi-year service contract.<\/p>\n

    \n \"Oldham
    \u0e43\u0e19\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2b\u0e38\u0e48\u0e19\u0e22\u0e19\u0e15\u0e4c\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e01\u0e32\u0e23\u0e44\u0e21\u0e48\u0e21\u0e35\u0e23\u0e30\u0e22\u0e30\u0e04\u0e25\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e19\u0e49\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e31\u0e01\u0e43\u0e19\u0e41\u0e19\u0e27\u0e23\u0e31\u0e28\u0e21\u0e35\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e41\u0e1a\u0e1a Oldham \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e15\u0e2d\u0e1a\u0e42\u0e08\u0e17\u0e22\u0e4c\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e2a\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49\u0e44\u0e14\u0e49\u0e43\u0e19\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e01\u0e30\u0e17\u0e31\u0e14\u0e23\u0e31\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0a\u0e38\u0e14\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2b\u0e38\u0e48\u0e19\u0e22\u0e19\u0e15\u0e4c\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e07\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19<\/figcaption><\/figure>\n

    \u0e41\u0e17\u0e48\u0e19\u0e27\u0e32\u0e07\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e40\u0e2a\u0e49\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07<\/h2>\n

    \u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1e\u0e34\u0e21\u0e1e\u0e4c\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e41\u0e2a\u0e07 (Photolithography) \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e2a\u0e40\u0e15\u0e47\u0e1b\u0e40\u0e1b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e41\u0e01\u0e19\u0e40\u0e19\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e27\u0e31\u0e14\u0e17\u0e32\u0e07\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e27\u0e34\u0e17\u0e22\u0e32 \u0e43\u0e0a\u0e49\u0e41\u0e17\u0e48\u0e19\u0e27\u0e32\u0e07\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e40\u0e2a\u0e49\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2d\u0e35\u0e22\u0e14\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e15\u0e33\u0e41\u0e2b\u0e19\u0e48\u0e07\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e19\u0e32\u0e42\u0e19\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23 \u0e41\u0e17\u0e48\u0e19\u0e27\u0e32\u0e07\u0e19\u0e35\u0e49\u0e02\u0e31\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e21\u0e2d\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e40\u0e2a\u0e49\u0e19\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e2d\u0e25\u0e2a\u0e01\u0e23\u0e39 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e21\u0e35\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e42\u0e27\u0e17\u0e35\u0e48\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e15\u0e32\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e48\u0e32\u0e19\u0e04\u0e48\u0e32\u0e08\u0e32\u0e01\u0e40\u0e25\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2d\u0e34\u0e19\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e42\u0e23\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e1b\u0e15\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e25\u0e40\u0e2d\u0e19\u0e42\u0e04\u0e40\u0e14\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e22\u0e37\u0e14\u0e2b\u0e22\u0e38\u0e48\u0e19\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e25\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e43\u0e14\u0e46 \u0e43\u0e19\u0e42\u0e0b\u0e48\u0e02\u0e31\u0e1a\u0e08\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e32\u0e01\u0e0f\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1c\u0e34\u0e14\u0e1e\u0e25\u0e32\u0e14\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e15\u0e33\u0e41\u0e2b\u0e19\u0e48\u0e07\u0e43\u0e19\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e25\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e14\u0e22\u0e15\u0e23\u0e07<\/p>\n

    In ballscrew-driven precision stages, the Oldham coupling between the servo motor and the ballscrew serves the same function as in any CNC machine \u2014 zero-backlash torque transmission with lateral offset accommodation \u2014 but to higher performance standards. The coupling must maintain zero backlash for the full qualified service life of the stage, typically 5 to 10 years of daily use, with disc replacement performed as part of the stage’s planned maintenance schedule. Precision-grade Oldham couplings for these applications are manufactured to tighter tenon width tolerances than standard industrial couplings, minimising the initial backlash from assembly tolerance stack-up.<\/p>\n

    \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28: \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e40\u0e15\u0e34\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d<\/h2>\n

    \u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e27\u0e30\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e01\u0e15\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e2d\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e22\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e22\u0e20\u0e32\u0e1e \u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e01\u0e15\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e2d\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e22\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1d\u0e31\u0e07\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e40\u0e0b\u0e32\u0e30 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e2b\u0e21\u0e14\u0e19\u0e35\u0e49\u0e14\u0e33\u0e40\u0e19\u0e34\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e35\u0e48\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e14\u0e31\u0e19\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e41\u0e15\u0e48\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e22\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e25\u0e07\u0e44\u0e1b\u0e08\u0e19\u0e16\u0e36\u0e07 10\u207b\u2079 Torr \u0e0a\u0e34\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e01\u0e25\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e43\u0e01\u0e25\u0e49\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e08\u0e30\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e44\u0e21\u0e48\u0e1b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e08\u0e19\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e2b\u0e32\u0e22<\/p>\n

    \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e1e\u0e2d\u0e25\u0e34\u0e40\u0e21\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e2d\u0e30\u0e0b\u0e35\u0e17\u0e31\u0e25 \u0e44\u0e19\u0e25\u0e2d\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e21\u0e49\u0e41\u0e15\u0e48 PEEK \u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19 \u0e25\u0e49\u0e27\u0e19\u0e21\u0e35\u0e42\u0e21\u0e42\u0e19\u0e40\u0e21\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e1e\u0e25\u0e32\u0e2a\u0e15\u0e34\u0e44\u0e0b\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e15\u0e01\u0e04\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e08\u0e30\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e22\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e21\u0e32\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e27\u0e30\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e21\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e22\u0e2d\u0e21\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e27\u0e30\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e2a\u0e39\u0e07 PEEK \u0e40\u0e01\u0e23\u0e14\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e27\u0e30\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e42\u0e14\u0e22\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e22 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e08\u0e30\u0e15\u0e23\u0e07\u0e15\u0e32\u0e21\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e22\u0e02\u0e2d\u0e07 NASA (ASTM E595): \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e39\u0e0d\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e21\u0e27\u0e25\u0e23\u0e27\u0e21\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 1.0 \u0e40\u0e1b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e4c \u0e41\u0e25\u0e30\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e22\u0e44\u0e14\u0e49\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e01\u0e47\u0e1a\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e44\u0e27\u0e49\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 0.1 \u0e40\u0e1b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e4c \u0e2b\u0e25\u0e31\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01 24 \u0e0a\u0e31\u0e48\u0e27\u0e42\u0e21\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34 125\u00b0C \u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e27\u0e30\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28<\/p>\n

    \u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d Oldham \u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28 \u0e43\u0e2b\u0e49\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e38\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e14\u0e34\u0e2a\u0e01\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e39\u0e25\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b\u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e14\u0e49\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e1c\u0e39\u0e49\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15 \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e41\u0e04\u0e15\u0e15\u0e32\u0e25\u0e47\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e21\u0e48\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e21\u0e32\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28 \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e23\u0e48\u0e27\u0e21\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e44\u0e14\u0e49\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e31\u0e01\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e1a\u0e44\u0e25\u0e48\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b\u0e01\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e34\u0e14\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23 \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e14\u0e38\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28\u0e42\u0e14\u0e22\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e04\u0e37\u0e2d\u0e2a\u0e41\u0e15\u0e19\u0e40\u0e25\u0e2a 304 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d 316L \u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e02\u0e31\u0e14\u0e40\u0e07\u0e32\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32 \u2014 \u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e23\u0e34\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e15\u0e48\u0e33\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e02\u0e31\u0e14\u0e40\u0e07\u0e32\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e25\u0e14\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b\u0e17\u0e35\u0e48\u0e14\u0e39\u0e14\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e08\u0e30\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e22\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e1b\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28<\/p>\n

    \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e23\u0e1e\u0e34\u0e08\u0e32\u0e23\u0e13\u0e32\u0e17\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h2>\n

    \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e44\u0e27\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e08\u0e38\u0e1a\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e19\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e2d\u0e32\u0e08\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e01\u0e15\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e2b\u0e32\u0e22\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e08\u0e38\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15 (ESD) \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e41\u0e21\u0e49\u0e08\u0e30\u0e44\u0e21\u0e48\u0e17\u0e34\u0e49\u0e07\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e47\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49 \u0e41\u0e15\u0e48\u0e01\u0e47\u0e17\u0e33\u0e25\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c \u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2a\u0e32\u0e22\u0e14\u0e34\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e28\u0e32\u0e2a\u0e15\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e32\u0e07\u0e27\u0e34\u0e28\u0e27\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/p>\n

    The Oldham coupling’s electrical isolation property \u2014 provided by the non-conducting polymer disc \u2014 prevents shaft currents generated by servo drive switching from propagating through the drive chain into the robot structure and potentially to the wafer. In some tool designs, this isolation is deliberately engineered into the drive train using an Oldham coupling specifically to break the electrical continuity between the servo amplifier and the robot’s conductive end-effector and wafer handling surfaces.<\/p>\n

    Conversely, in tools where the robot structure must be grounded throughout for ESD management, a metallic coupling is specified to maintain electrical continuity. The coupling specification must match the equipment’s grounding architecture, which requires understanding the tool’s ESD management strategy before selecting between polymer-disc and metal-disc Oldham couplings.<\/p>\n

    \u0e23\u0e32\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d Oldham \u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/h2>\n
    \n
    \n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
    \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23<\/th>\n\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14<\/th>\n\u0e40\u0e2b\u0e15\u0e38\u0e1c\u0e25<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
    \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e14\u0e34\u0e2a\u0e01\u0e4c<\/td>\n\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e04\u0e2d\u0e21\u0e42\u0e1e\u0e2a\u0e34\u0e15 PEEK \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d PTFE \u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29<\/td>\n\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22 \u0e17\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e28\u0e39\u0e19\u0e22\u0e4c\u0e01\u0e25\u0e32\u0e07<\/td>\n\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e47\u0e01\u0e01\u0e25\u0e49\u0e32\u0e44\u0e23\u0e49\u0e2a\u0e19\u0e34\u0e21 316L \u0e02\u0e31\u0e14\u0e40\u0e07\u0e32\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32<\/td>\n\u0e17\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19 \u0e21\u0e35\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b\u0e14\u0e39\u0e14\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e15\u0e48\u0e33 \u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e2d<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e01\u0e4a\u0e32\u0e0b<\/td>\nASTM E595 (TML <1.0%, CVCM <0.1%)<\/td>\n\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0e2a\u0e44\u0e15\u0e25\u0e4c\u0e2e\u0e31\u0e1a<\/td>\n\u0e41\u0e04\u0e25\u0e21\u0e1b\u0e4c (\u0e23\u0e39\u0e41\u0e22\u0e01)<\/td>\n\u0e44\u0e21\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e2b\u0e32\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e40\u0e1e\u0e25\u0e32 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e07\u0e15\u0e23\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d \u0e44\u0e21\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e48\u0e22\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e40\u0e28\u0e29\u0e1c\u0e07\u0e2a\u0e01\u0e23\u0e39\u0e22\u0e36\u0e14<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e25\u0e37\u0e48\u0e19<\/td>\n\u0e44\u0e21\u0e48\u0e21\u0e35 (\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e41\u0e2b\u0e49\u0e07)<\/td>\n\u0e44\u0e2d\u0e23\u0e30\u0e40\u0e2b\u0e22\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e2d\u0e25\u0e37\u0e48\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e41\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e07\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e2a\u0e38\u0e0d\u0e0d\u0e32\u0e01\u0e32\u0e28<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19<\/td>\n\u0e28\u0e39\u0e19\u0e22\u0e4c (0 \u0e2d\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e04\u0e19\u0e32\u0e17\u0e35\u0e42\u0e14\u0e22\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13)<\/td>\n\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e32\u0e07\u0e15\u0e33\u0e41\u0e2b\u0e19\u0e48\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/td>\n<\/tr>\n
    \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14<\/td>\n\u0e40\u0e0a\u0e47\u0e14\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22 IPA \u0e41\u0e25\u0e30\u0e19\u0e49\u0e33 DI<\/td>\n\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e49\u0e2d<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

    \u0e1a\u0e17\u0e2a\u0e23\u0e38\u0e1b<\/h2>\n

    \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e41\u0e27\u0e14\u0e25\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e41\u0e1a\u0e1a Oldham \u0e43\u0e19\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e2b\u0e21\u0e14 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\u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e07\u0e27\u0e14 \u0e08\u0e30\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e2d\u0e37\u0e48\u0e19\u0e46 \u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48\u0e44\u0e21\u0e48\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49 \u0e41\u0e15\u0e48\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e41\u0e1a\u0e1a Oldham \u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e19\u0e35\u0e49\u0e44\u0e14\u0e49 \u2014 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    Semiconductor manufacturing is arguably the most demanding environment in which any mechanical component can be asked to operate. The positioning tolerances required are measured in nanometres. The cleanliness standards \u2014 typically ISO Class 1 to ISO Class 4 cleanrooms \u2014 permit only a handful of particles per cubic metre of air. The chemical environment includes […]<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_et_pb_use_builder":"","_et_pb_old_content":"","_et_gb_content_width":"","footnotes":""},"categories":[722],"tags":[892,898,891,895,894,897,896,893,899],"class_list":["post-877","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-blog","tag-cleanroom-coupling","tag-iso-cleanroom-coupling","tag-oldham-coupling-semiconductor","tag-outgassing-coupling","tag-peek-coupling-cleanroom","tag-semiconductor-motion-coupling","tag-vacuum-compatible-coupling","tag-wafer-handling-coupling","tag-wafer-robot-coupling"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/877","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/th\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/th\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/th\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=877"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/th\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/877\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/th\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=877"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/th\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=877"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/th\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=877"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}