{"id":877,"date":"2026-06-25T01:55:35","date_gmt":"2026-06-25T01:55:35","guid":{"rendered":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/oldham-couplings-in-semiconductor-equipment-wafer-handling-and-cleanroom-motion-systems\/"},"modified":"2026-06-25T01:55:35","modified_gmt":"2026-06-25T01:55:35","slug":"oldham-couplings-in-semiconductor-equipment-wafer-handling-and-cleanroom-motion-systems","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/pl\/oldham-couplings-in-semiconductor-equipment-wafer-handling-and-cleanroom-motion-systems\/","title":{"rendered":"Oldham Couplings w urz\u0105dzeniach p\u00f3\u0142przewodnikowych: systemy obs\u0142ugi p\u0142ytek p\u00f3\u0142przewodnikowych i systemy ruchu w pomieszczeniach czystych"},"content":{"rendered":"

Produkcja p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w to prawdopodobnie najbardziej wymagaj\u0105ce \u015brodowisko, w kt\u00f3rym mo\u017ce pracowa\u0107 jakikolwiek element mechaniczny. Wymagane tolerancje pozycjonowania mierzone s\u0105 w nanometrach. Normy czysto\u015bci \u2013 zazwyczaj od ISO klasy 1 do ISO klasy 4 dla pomieszcze\u0144 czystych \u2013 dopuszczaj\u0105 jedynie niewielk\u0105 ilo\u015b\u0107 cz\u0105stek na metr sze\u015bcienny powietrza. \u015arodowisko chemiczne obejmuje \u017cr\u0105ce gazy procesowe, ultraczyst\u0105 wod\u0119 i agresywne rozpuszczalniki. Konsekwencj\u0105 zanieczyszczenia lub b\u0142\u0119du pozycjonowania nie jest defekt kosmetyczny, ale zniszczenie p\u0142ytki krzemowej wartej tysi\u0105ce dolar\u00f3w lub uszkodzenie ca\u0142ej partii produkcyjnej.<\/p>\n

W tym \u015brodowisku ka\u017cdy element mechaniczny uk\u0142adu ruchu jest dok\u0142adnie sprawdzany pod k\u0105tem generowania cz\u0105stek, odgazowywania, zgodno\u015bci chemicznej i dok\u0142adno\u015bci pozycjonowania. Sprz\u0119g\u0142o Oldhama<\/strong> Wytrzymuje t\u0119 kontrol\u0119, poniewa\u017c jego unikalne po\u0142\u0105czenie zerowego luzu, zerowego obci\u0105\u017cenia \u0142o\u017cyska, izolacji elektrycznej i dost\u0119pno\u015bci materia\u0142\u00f3w o ultraniskim odgazowaniu spe\u0142nia wymagania, kt\u00f3rych \u017caden inny popularny typ sprz\u0119g\u0142a nie jest w stanie spe\u0142ni\u0107 jednocze\u015bnie. W niniejszym artykule om\u00f3wiono konkretne zastosowania, wymagania materia\u0142owe i normy wydajno\u015bci, kt\u00f3re reguluj\u0105 specyfikacj\u0119 sprz\u0119g\u0142a Oldham w urz\u0105dzeniach p\u00f3\u0142przewodnikowych.<\/p>\n

\n \"Precyzja
W przypadku pomieszcze\u0144 czystych przeznaczonych do produkcji p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w dob\u00f3r materia\u0142\u00f3w sprz\u0119gaj\u0105cych zale\u017cy od szybko\u015bci generowania cz\u0105stek, poziomu odgazowania oraz zgodno\u015bci chemicznej z gazami procesowymi i ultraczyst\u0105 wod\u0105 \u2014 wymaga\u0144, kt\u00f3rych nie s\u0105 w stanie spe\u0142ni\u0107 standardowe z\u0142\u0105cza przemys\u0142owe.<\/figcaption><\/figure>\n

Wyzwanie zwi\u0105zane z zanieczyszczeniem pomieszcze\u0144 czystych<\/h2>\n

Pojedyncza cz\u0105stka o \u015brednicy wi\u0119kszej ni\u017c 0,1 mikrona, kt\u00f3ra spadnie na powierzchni\u0119 p\u0142ytki podczas fotolitografii, mo\u017ce spowodowa\u0107 powa\u017cny defekt w wytwarzanym uk\u0142adzie scalonym. Cz\u0105steczka zwi\u0105zku organicznego odgazowanego z komponentu polimerowego mo\u017ce osadzi\u0107 si\u0119 na powierzchni p\u0142ytki i zmieni\u0107 energi\u0119 powierzchniow\u0105 w spos\u00f3b wp\u0142ywaj\u0105cy na przyczepno\u015b\u0107 fotorezystu, jednorodno\u015b\u0107 trawienia lub osadzanie cienkich warstw. Nie s\u0105 to kwestie teoretyczne \u2013 to codzienne wyzwania zwi\u0105zane z zarz\u0105dzaniem zanieczyszczeniami, z kt\u00f3rymi borykaj\u0105 si\u0119 in\u017cynierowie procesowi produkcji p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w.<\/p>\n

Ka\u017cdy element mechaniczny na \u015bcie\u017cce transportu p\u0142ytek \u2014 roboty, stoliki liniowe, stoliki obrotowe i sprz\u0119g\u0142a \u0142\u0105cz\u0105ce ich nap\u0119dy \u2014 musi zosta\u0107 oceniony pod k\u0105tem:<\/p>\n

    \n
  • Szybko\u015b\u0107 generowania cz\u0105stek:<\/strong> Ile cz\u0105stek o okre\u015blonej wielko\u015bci wyrzuca element w jednostce czasu podczas normalnej pracy? Jest to mierzone w kontrolowanej komorze i wyra\u017cane jako liczba cz\u0105stek na minut\u0119 na jednostk\u0119 powierzchni lub obj\u0119to\u015bci.<\/li>\n
  • Szybko\u015b\u0107 odgazowywania:<\/strong> Jaka jest szybko\u015b\u0107 emisji lotnych zwi\u0105zk\u00f3w organicznych (LZO) z komponentu w temperaturze roboczej w warunkach pr\u00f3\u017cni lub zbli\u017conych do pr\u00f3\u017cni? Parametr ten, mierzony w Pa\u00b7m\u00b3\/s na jednostk\u0119 powierzchni, okre\u015bla przydatno\u015b\u0107 materia\u0142\u00f3w do stosowania w komorach pr\u00f3\u017cniowych.<\/li>\n
  • Zgodno\u015b\u0107 chemiczna:<\/strong> Czy materia\u0142 jest odporny na dzia\u0142anie substancji chemicznych stosowanych w procesie, obecnych w jego strefie roboczej \u2014 pary fluorku wodoru, ozonu, alkoholu izopropylowego, wodorotlenku amonu, nadtlenku wodoru i innych, w zale\u017cno\u015bci od etapu procesu?<\/li>\n
  • Zanieczyszczenie jonowe:<\/strong> Czy materia\u0142 uwalnia jony metali lub inne zwi\u0105zki jonowe, kt\u00f3re mog\u0105 osadza\u0107 si\u0119 na powierzchniach p\u0142ytek i zmienia\u0107 charakterystyk\u0119 elektryczn\u0105 urz\u0105dzenia?<\/li>\n<\/ul>\n

    Dlaczego przesuwna tarcza sprz\u0119g\u0142a Oldham stanowi zar\u00f3wno wyzwanie, jak i rozwi\u0105zanie<\/h2>\n

    Ruch \u015blizgowy tarczy centralnej jest \u017ar\u00f3d\u0142em zdolno\u015bci sprz\u0119g\u0142a Oldhama do kompensacji niewsp\u00f3\u0142osiowo\u015bci \u2014 ale jest r\u00f3wnie\u017c potencjalnym \u017ar\u00f3d\u0142em generowania cz\u0105stek. Ka\u017cdy kontakt \u015blizgowy powoduje powstawanie cz\u0105stek \u015bciernych, a w \u015brodowisku pomieszcze\u0144 czystych te cz\u0105stki musz\u0105 by\u0107 odpowiednio kontrolowane.<\/p>\n

    Kluczem jest dob\u00f3r materia\u0142u. Standardowy acetal generuje mierzalne cz\u0105stki podczas pracy, kt\u00f3re s\u0105 akceptowalne w \u015brodowiskach przemys\u0142owych, ale ich liczba i rozk\u0142ad wielko\u015bci s\u0105 zbyt wysokie, aby mo\u017cna je by\u0142o stosowa\u0107 w pomieszczeniach czystych klasy ISO 3 lub wy\u017cszej. PEEK, a w szczeg\u00f3lno\u015bci PEEK wype\u0142niony PTFE lub w\u0142\u00f3knem w\u0119glowym, generuje znacznie mniej cz\u0105stek i mniejsze cz\u0105stki w tych samych warunkach \u015blizgowych, a rozk\u0142ad wielko\u015bci cz\u0105stek jest korzystniejszy w por\u00f3wnaniu ze standardami klasyfikacji pomieszcze\u0144 czystych.<\/p>\n

    Do najbardziej wymagaj\u0105cych zastosowa\u0144 p\u00f3\u0142przewodnikowych \u2014 wewn\u0105trz kom\u00f3r procesowych lub w \u015brodowiskach klasy ISO 1 i 2 \u2014 wymagane s\u0105 ultraczyste gatunki PEEK o kontrolowanej czysto\u015bci (niska zawarto\u015b\u0107 jon\u00f3w metali, brak plastyfikator\u00f3w i wype\u0142niaczy, kt\u00f3re mog\u0142yby odgazowywa\u0107). Materia\u0142y te s\u0105 wytwarzane w kontrolowanych warunkach, z udokumentowan\u0105 powtarzalno\u015bci\u0105 mi\u0119dzy partiami pod wzgl\u0119dem szybko\u015bci odgazowywania i profili generowania cz\u0105stek. Koszt jest znacznie wy\u017cszy ni\u017c w przypadku standardowego PEEK, ale do\u0142\u0105czony do nich pakiet danych kwalifikacyjnych jest niezb\u0119dny dla producent\u00f3w sprz\u0119tu ubiegaj\u0105cych si\u0119 o zatwierdzenie narz\u0119dzi procesowych przez producent\u00f3w chip\u00f3w.<\/p>\n

    Z\u0142\u0105cza robota do obs\u0142ugi p\u0142ytek p\u00f3\u0142przewodnikowych<\/h2>\n

    Roboty do transportu p\u0142ytek w atmosferze \u2013 SCARA i roboty kartezja\u0144skie, kt\u00f3re transportuj\u0105 p\u0142ytki mi\u0119dzy kasetami, \u015bluzami za\u0142adowczymi i komorami procesowymi \u2013 posiadaj\u0105 wiele przegub\u00f3w obrotowych, z kt\u00f3rych ka\u017cdy jest nap\u0119dzany serwosilnikiem za po\u015brednictwem nap\u0119du harmonicznego lub reduktora. W wi\u0119kszo\u015bci wsp\u00f3\u0142czesnych konstrukcji sprz\u0119g\u0142o mi\u0119dzy wa\u0142em wyj\u015bciowym silnika a wej\u015bciem nap\u0119du harmonicznego jest sprz\u0119g\u0142em Oldhama.<\/p>\n

    Wymagania s\u0105 tutaj rygorystyczne. Robot musi ustawi\u0107 p\u0142ytk\u0119 o \u015brednicy 300 mm z dok\u0142adno\u015bci\u0105 \u00b10,1 mm w szczelinie wej\u015bciowej komory procesowej, powtarzaj\u0105c t\u0119 \u200b\u200bczynno\u015b\u0107 miliony razy w ci\u0105gu ca\u0142ego okresu u\u017cytkowania narz\u0119dzia. Ka\u017cdy luz sprz\u0119gaj\u0105cy w stawie powoduje b\u0142\u0105d pozycjonowania efektora ko\u0144cowego, wzmacniany przez \u0142a\u0144cuch kinematyczny robota. Zerowy luz w ka\u017cdym stawie jest wymogiem nie podlegaj\u0105cym negocjacjom.<\/p>\n

    Tolerancja przesuni\u0119cia bocznego sprz\u0119g\u0142a Oldhama kompensuje niewielkie, ale nieuniknione niewsp\u00f3\u0142osiowo\u015bci wa\u0142\u00f3w mi\u0119dzy silnikiem a nap\u0119dem harmonicznym w kompaktowym, wielowarstwowym zespole przegubowym \u2013 niewsp\u00f3\u0142osiowo\u015bci, kt\u00f3rych nie da si\u0119 skorygowa\u0107 za pomoc\u0105 podk\u0142adek w ograniczonej przestrzeni obudowy przegubu robota. Alternatywne rozwi\u0105zanie \u2013 sprz\u0119g\u0142o mieszkowe \u2013 nak\u0142ada\u0142oby obci\u0105\u017cenia promieniowe na \u0142o\u017cysko wej\u015bciowe nap\u0119du harmonicznego, skracaj\u0105c jego \u017cywotno\u015b\u0107, poniewa\u017c wymiana tego elementu w robocie, kt\u00f3ry mo\u017ce by\u0107 zainstalowany w narz\u0119dziu procesowym w ramach wieloletniej umowy serwisowej, jest kosztowna i czasoch\u0142onna.<\/p>\n

    \n \"Robot
    W przypadku po\u0142\u0105cze\u0144 robot\u00f3w do obr\u00f3bki p\u0142ytek p\u00f3\u0142przewodnikowych r\u00f3wnie istotne s\u0105 brak luz\u00f3w i zerowe obci\u0105\u017cenie promieniowe \u0142o\u017cyska \u2014 sprz\u0119g\u0142o Oldham zapewnia oba te parametry w kompaktowej obudowie z\u0142o\u017conego stosu po\u0142\u0105cze\u0144 robot\u00f3w.<\/figcaption><\/figure>\n

    Sto\u0142y liniowe precyzyjne<\/h2>\n

    Steppery i skanery fotolitograficzne, systemy kontroli p\u0142ytek p\u00f3\u0142przewodnikowych oraz narz\u0119dzia metrologiczne wykorzystuj\u0105 ultraprecyzyjne stoliki liniowe o rozdzielczo\u015bci pozycjonowania rz\u0119du nanometr\u00f3w. Stolik nap\u0119dzany jest silnikiem liniowym lub \u015brub\u0105 kulow\u0105, a p\u0119tla sterowania serwo zamyka si\u0119 po odczycie interferometru laserowego lub enkodera optycznego. Wszelkie luz mechaniczny lub podatno\u015b\u0107 na odkszta\u0142cenia w \u0142a\u0144cuchu nap\u0119dowym objawiaj\u0105 si\u0119 bezpo\u015brednio b\u0142\u0119dem po\u0142o\u017cenia w p\u0119tli sprz\u0119\u017cenia zwrotnego.<\/p>\n

    W precyzyjnych platformach z nap\u0119dem \u015brubowo-tocznym, sprz\u0119g\u0142o Oldhama mi\u0119dzy serwosilnikiem a \u015brub\u0105 kulow\u0105 pe\u0142ni t\u0119 sam\u0105 funkcj\u0119, co w ka\u017cdej maszynie CNC \u2013 bezluzowe przeniesienie momentu obrotowego z kompensacj\u0105 przesuni\u0119cia bocznego \u2013 ale spe\u0142nia wy\u017csze standardy wydajno\u015bci. Sprz\u0119g\u0142o musi utrzymywa\u0107 zerowy luz przez ca\u0142y okres u\u017cytkowania platformy, zazwyczaj od 5 do 10 lat codziennego u\u017cytkowania, a wymiana tarczy musi by\u0107 przeprowadzana w ramach planowego harmonogramu konserwacji platformy. Precyzyjne sprz\u0119g\u0142a Oldham do tych zastosowa\u0144 s\u0105 produkowane z w\u0119\u017cszymi tolerancjami szeroko\u015bci czopu ni\u017c standardowe sprz\u0119g\u0142a przemys\u0142owe, co minimalizuje pocz\u0105tkowy luz wynikaj\u0105cy z nak\u0142adania si\u0119 tolerancji monta\u017cowych.<\/p>\n

    Zgodno\u015b\u0107 z odkurzaczem: kluczowy dodatkowy wym\u00f3g<\/h2>\n

    Wiele etap\u00f3w procesu produkcji p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w odbywa si\u0119 w pr\u00f3\u017cni \u2013 fizyczne osadzanie z fazy gazowej, chemiczne osadzanie z fazy gazowej, implantacja jon\u00f3w i trawienie \u2013 wszystkie te procesy odbywaj\u0105 si\u0119 pod ci\u015bnieniem od atmosferycznego do 10\u207b\u2079 tora. Elementy mechaniczne znajduj\u0105ce si\u0119 w komorach pr\u00f3\u017cniowych lub w ich pobli\u017cu nie mog\u0105 wydziela\u0107 gaz\u00f3w w tempie zagra\u017caj\u0105cym pr\u00f3\u017cni procesowej.<\/p>\n

    Standardowe materia\u0142y polimerowe \u2013 w tym standardowy acetal, nylon, a nawet standardowy PEEK \u2013 zawieraj\u0105 resztkowe monomery, plastyfikatory i substancje pomocnicze, kt\u00f3re odgazowuj\u0105 si\u0119 w pr\u00f3\u017cni w tempie niedopuszczalnym w procesach p\u00f3\u0142przewodnikowych w wysokiej pr\u00f3\u017cni. Gatunki PEEK kompatybilne z pr\u00f3\u017cni\u0105 s\u0105 produkowane z kontrolowanym tempem odgazowywania, zazwyczaj spe\u0142niaj\u0105cym normy NASA dotycz\u0105ce odgazowywania (ASTM E595): ca\u0142kowita utrata masy poni\u017cej 1,0% i zebrana ilo\u015b\u0107 lotnych substancji kondensuj\u0105cych poni\u017cej 0,1% po 24 godzinach w temperaturze 125\u00b0C w pr\u00f3\u017cni.<\/p>\n

    W przypadku sprz\u0119gie\u0142 Oldham stosowanych w \u015brodowiskach pr\u00f3\u017cniowych nale\u017cy okre\u015bli\u0107 materia\u0142y tarcz wraz z udokumentowanymi danymi odgazowania od producenta. Standardowe sprz\u0119g\u0142a katalogowe nie s\u0105 przystosowane do pracy w pr\u00f3\u017cni; wersje kompatybilne z pr\u00f3\u017cni\u0105 wymagaj\u0105 specjalnej certyfikacji materia\u0142u i cz\u0119sto procedur wypalania przed instalacj\u0105 w \u015brodowisku komory procesowej. Materia\u0142y piast do zastosowa\u0144 pr\u00f3\u017cniowych to zazwyczaj stal nierdzewna 304 lub 316L z powierzchniami elektropolerowanymi \u2014 niski stosunek powierzchni do obj\u0119to\u015bci polerowanej powierzchni minimalizuje warstw\u0119 zaadsorbowanego gazu, kt\u00f3ra ulega desorpcji w pr\u00f3\u017cni.<\/p>\n

    Zagadnienia elektryczne w sprz\u0119cie p\u00f3\u0142przewodnikowym<\/h2>\n

    P\u0142ytki p\u00f3\u0142przewodnikowe s\u0105 wra\u017cliwe na \u0142adunki elektrostatyczne \u2013 gromadzenie si\u0119 \u0142adunku na powierzchni p\u0142ytki podczas jej u\u017cytkowania mo\u017ce uszkodzi\u0107 warstwy tlenkowe bramki poprzez wy\u0142adowania elektrostatyczne (ESD), kt\u00f3re nie pozostawiaj\u0105 widocznych \u015blad\u00f3w, ale niszcz\u0105 funkcjonalno\u015b\u0107 urz\u0105dzenia. Uziemienie urz\u0105dze\u0144 i zarz\u0105dzanie \u0142adunkami elektrostatycznymi to odr\u0119bne dziedziny in\u017cynierii w projektowaniu narz\u0119dzi p\u00f3\u0142przewodnikowych.<\/p>\n

    Izolacja elektryczna sprz\u0119g\u0142a Oldhama \u2013 zapewniana przez nieprzewodz\u0105cy dysk polimerowy \u2013 zapobiega rozprzestrzenianiu si\u0119 pr\u0105d\u00f3w wa\u0142u generowanych podczas prze\u0142\u0105czania serwonap\u0119du przez \u0142a\u0144cuch nap\u0119dowy do konstrukcji robota i potencjalnie do p\u0142ytki p\u00f3\u0142przewodnikowej. W niekt\u00f3rych projektach narz\u0119dzi izolacja ta jest celowo wbudowana w uk\u0142ad nap\u0119dowy za pomoc\u0105 sprz\u0119g\u0142a Oldhama, aby przerwa\u0107 ci\u0105g\u0142o\u015b\u0107 elektryczn\u0105 mi\u0119dzy serwowzmacniaczem a przewodz\u0105cymi powierzchniami roboczymi robota, takimi jak efektor ko\u0144cowy i p\u0142ytka p\u00f3\u0142przewodnikowa.<\/p>\n

    Z kolei w narz\u0119dziach, w kt\u00f3rych konstrukcja robota musi by\u0107 uziemiona w celu zapewnienia ochrony przed wy\u0142adowaniami elektrostatycznymi (ESD), wymagane jest metalowe z\u0142\u0105cze, aby zachowa\u0107 ci\u0105g\u0142o\u015b\u0107 elektryczn\u0105. Specyfikacja z\u0142\u0105cza musi by\u0107 zgodna z architektur\u0105 uziemienia urz\u0105dzenia, co wymaga zrozumienia strategii zarz\u0105dzania ESD narz\u0119dzia przed wyborem mi\u0119dzy z\u0142\u0105czami Oldhama z tarcz\u0105 polimerow\u0105 a metalow\u0105.<\/p>\n

    Lista kontrolna specyfikacji sprz\u0119gie\u0142 Oldhama do p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w<\/h2>\n
    \n
    \n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
    Wym\u00f3g<\/th>\nSpecyfikacja<\/th>\nRacjonalne uzasadnienie<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
    Materia\u0142 p\u0142yty<\/td>\nUltraczysty kompozyt PEEK lub PTFE<\/td>\nNiska generacja cz\u0105stek, niskie wydzielanie gaz\u00f3w, odporno\u015b\u0107 chemiczna<\/td>\n<\/tr>\n
    Materia\u0142 piasty<\/td>\nStal nierdzewna 316L, elektropolerowana<\/td>\nOdporno\u015b\u0107 na korozj\u0119, niska warstwa adsorbowanego gazu, powierzchnia zgodna z wymaganiami pomieszcze\u0144 czystych<\/td>\n<\/tr>\n
    Certyfikacja odgazowania<\/td>\nASTM E595 (TML <1,0%, CVCM <0,1%)<\/td>\nWymagane w \u015brodowiskach proces\u00f3w pr\u00f3\u017cniowych<\/td>\n<\/tr>\n
    Styl piasty<\/td>\nZacisk (otw\u00f3r dzielony)<\/td>\nBrak uszkodze\u0144 powierzchni wa\u0142u, powtarzalna wsp\u00f3\u0142\u015brodkowo\u015b\u0107, brak ryzyka uszkodzenia \u015brub ustalaj\u0105cych<\/td>\n<\/tr>\n
    Smarowanie<\/td>\nBrak (praca na sucho)<\/td>\nOpary \u015brodk\u00f3w smarnych stanowi\u0105 \u017ar\u00f3d\u0142o zanieczyszcze\u0144 w pomieszczeniach czystych i w \u015brodowiskach pr\u00f3\u017cniowych<\/td>\n<\/tr>\n
    Reakcja<\/td>\nZero (nominalnie 0 minut k\u0105towych)<\/td>\nWymagania dotycz\u0105ce dok\u0142adno\u015bci pozycjonowania p\u0142ytek<\/td>\n<\/tr>\n
    Zgodno\u015b\u0107 z czyszczeniem<\/td>\nIPA, woda DI do przecierania<\/td>\nStandardowa procedura czyszczenia komponent\u00f3w pomieszczenia czystego<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

    Wniosek<\/h2>\n

    Sprz\u0119t p\u00f3\u0142przewodnikowy stanowi najbardziej wymagaj\u0105ce technicznie \u015brodowisko pracy, z jakim sprz\u0119g\u0142o Oldham spotyka si\u0119 w dowolnym obszarze zastosowa\u0144. Po\u0142\u0105czenie wymaga\u0144 dotycz\u0105cych pozycjonowania na poziomie nanometr\u00f3w, ogranicze\u0144 generacji cz\u0105stek submikronowych, norm odgazowania pr\u00f3\u017cniowego, wymaga\u0144 dotycz\u0105cych zarz\u0105dzania ESD oraz wymog\u00f3w dotycz\u0105cych agresywnej kompatybilno\u015bci chemicznej ca\u0142kowicie wyeliminowa\u0142oby wi\u0119kszo\u015b\u0107 typ\u00f3w sprz\u0119gie\u0142 z rozwa\u017ca\u0144. Sprz\u0119g\u0142o Oldham przechodzi ten proces kwalifikacyjny \u2013 pod warunkiem zastosowania odpowiedniego, ultraczystego dysku PEEK, elektropolerowanych piast ze stali nierdzewnej i udokumentowanego certyfikatu odgazowania \u2013 poniewa\u017c jego zasada dzia\u0142ania zapewnia zerowe obci\u0105\u017cenie \u0142o\u017cysk, zerowy luz i prac\u0119 na sucho, co dok\u0142adnie odpowiada wymaganiom \u015brodowisk procesowych p\u00f3\u0142przewodnik\u00f3w. Inwestycja in\u017cynieryjna w prawid\u0142ow\u0105 specyfikacj\u0119 na etapie projektowania wielokrotnie si\u0119 zwraca w postaci mniejszych strat waflowych, wyd\u0142u\u017conego czasu sprawno\u015bci narz\u0119dzi i uproszczonych procedur konserwacji pomieszcze\u0144 czystych.<\/p>\n

    Skontaktuj si\u0119 z nami zesp\u00f3\u0142 in\u017cynierski<\/a> aby uzyska\u0107 specyfikacje sprz\u0119gie\u0142 Oldhama klasy p\u00f3\u0142przewodnikowej, w tym dokumentacj\u0119 odgazowania lub przejrzyj nasz\u0105 zakres precyzyjnego sprz\u0119gania<\/a> do zastosowa\u0144 w pomieszczeniach czystych.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

    Semiconductor manufacturing is arguably the most demanding environment in which any mechanical component can be asked to operate. The positioning tolerances required are measured in nanometres. The cleanliness standards \u2014 typically ISO Class 1 to ISO Class 4 cleanrooms \u2014 permit only a handful of particles per cubic metre of air. The chemical environment includes […]<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_et_pb_use_builder":"","_et_pb_old_content":"","_et_gb_content_width":"","footnotes":""},"categories":[722],"tags":[892,898,891,895,894,897,896,893,899],"class_list":["post-877","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-blog","tag-cleanroom-coupling","tag-iso-cleanroom-coupling","tag-oldham-coupling-semiconductor","tag-outgassing-coupling","tag-peek-coupling-cleanroom","tag-semiconductor-motion-coupling","tag-vacuum-compatible-coupling","tag-wafer-handling-coupling","tag-wafer-robot-coupling"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/877","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=877"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/877\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=877"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=877"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/oldhamcoupling.net\/pl\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=877"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}